昭和真空高出力RF离子源 ISG-180

可在大范围内稳定放电，用于镀制无漂移光学薄膜，以及提高树脂基片镀膜的密着度。
运用独特的技术，达到稳定放电。

特长：

1. 离子束电流 1500mA
   离子束电压 1500V
   离子电流密度在 150μ A/cm²以上。

2. 在高功率条件下，离子电流密度分布均匀性可达±5％以下。
   * 在弊司指定条件下，用Sapio-1300测试的结果。

3. 通过离子中和器自动匹配实现稳定点火。

4. 采用弊司新开发的收集电极（已申请专利），放电电流最高可以达到3000mA。
   防止因充电引起带电粒子的发生