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OIS-Three/ OIS-Three Plus是离子辅助蒸镀的RF离子源，拥有世界最大级的照射离子束，可以均匀照射Ф1600伞架。适合高速率下的真空蒸着及基板清洁。
搭载在OTFC-1800光学镀膜机上，最适合于各种高性能光学滤光片的大批量生产。
