光驰离子源栅网-OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus(17cm)

OIS-One是光驰自行开发的离子辅助蒸度高性能射频（RF）离子源，最适于在高速率下的离子束辅助沉积（IAD）及清洗。搭载在光驰的成膜设备OTFC-1100,OTFC-1300上最适于各种光学滤光片的中规模量产。

OIS-Two Plus是OIS-Two的延伸机型。在离子辅助蒸镀大电流大面积的性能方面加以进化的RF离子源，维护性能的优化及中和器的改良，提高冷却效率来达到稳定生产的效果。适用于在高速率下离子束辅助沉积（ＩＡＤ）及清洗。搭载在光驰的ＯＴＦＣ-1300，ＯＴＦＣ-1550成膜设备上可适合于各种光学滤光片的大规模量产。