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2013年1月30日 00:00
技术特性:
A)物理特性:
1)传感器材料: 石英
2)切角:AT切 35°15′±1′
3)电极: 铝、金、银
B)电气特性
1)谐振频率:5.975-5.995 (6MHz)、4.995-5.005 (5MHz)
2)谐振电阻 <15 欧姆
3)接触电阻 <15欧姆
工作原理:
石英材料在受到挤压时会像电池一样产生电荷。这种现象称为压电效应,在镀膜过程中,随着膜料沉积在晶振片表面,石英晶振片的频率与之对应下降。膜料厚度与振动(或称振动频率)变化及膜料密度之间存在着数学关系。利用膜厚监控器,对沉积在晶振片上面的膜料的厚度进行实时测量。晶振片以大约每秒 6 百万次的速率(即 6 兆赫)振动,当膜料沉积在晶振片上时,监控器计算每秒振动次数的变化,并根据接收到的数据计算得出镀膜厚度。
使用注意事项:
1) 使用塑料镊子——始终使用塑料镊子夹持晶振片边缘,切勿触碰中心区域。油脂,污垢或灰尘会降低晶振片的使用性能。
2) 保持托架清洁——确保晶振片托架无碎片残留。任何夹在晶振片与端盖之间的微粒都会影响电气接触,产生应力点,干扰晶振片的正常振动。
3) 清洁表面——晶振片安装就位后,建议使用经过滤的干燥氮或不含油分的空气,以低压喷枪吹净表面,清除安装过程中可能附着的灰尘或碎片。
储存条件:
1)温度:20-24℃之间的室内温度。
2)湿度:40%-50% 之间的室内湿度。
3)化学环境:请勿在含有挥发性物质、油脂、硫磺、卤化物、臭氧、碘及氧化剂的地方储存晶振片。
4)微粒环境:避免多尘环境,请勿在充满微粒的环境中储存晶振片。
5)机械环境:避免强震动区域,请勿在存在过过度机械振动的区域储存晶振片。
